CIF紫外臭氧清洗機(jī)

紫外臭氧清洗機(jī)（UVO），是一種簡(jiǎn)單，經(jīng)濟(jì)，快速高效的材料表面清洗設(shè)備，能快速去除大多數(shù)無(wú)機(jī)基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）上的有機(jī)污染物。CIF推出的紫外臭氧清洗機(jī)系列產(chǎn)品采用長(zhǎng)壽命UV石英低壓汞蒸汽格柵燈，樣品臺(tái)高度可調(diào)，可選加熱控溫，以便達(dá)到最佳清洗效果。
產(chǎn)品特點(diǎn)
u?UVO基礎(chǔ)型系列采用可編程數(shù)字控制器，設(shè)置操作簡(jiǎn)單方便，四鍵操作控制。UVOP、UVOT系列采用5寸彩色觸摸屏中英文互動(dòng)操作界面，設(shè)置顯示計(jì)時(shí)時(shí)間及加熱溫度。
u?自動(dòng)補(bǔ)償功能，自動(dòng)恒定光強(qiáng)光密度，不會(huì)因?yàn)榈蛪汗療衾匣鈴?qiáng)衰減影響清洗效果。
u?數(shù)字倒計(jì)時(shí)顯示清洗時(shí)間，1-999分鐘之間可自行設(shè)置清洗時(shí)間。
u?任何時(shí)間可以手動(dòng)中斷處理過(guò)程。
u?自動(dòng)記錄之前清洗參數(shù)設(shè)置。
u?樣品臺(tái)可控溫（可選），控溫范圍RT-200℃，控溫精度0.1℃。
u?頂置下壓式鉸鏈開關(guān)蓋方式，操作簡(jiǎn)單方便。
u?上置式樣品臺(tái)設(shè)計(jì)，360度自由放置樣品，操作方便。
u?樣品臺(tái)高度可調(diào)，通過(guò)調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距，可以合理定位樣品高度和位置，并可鎖定。
u?UV石英低壓汞蒸汽格柵燈，燈管壽命大約為8000小時(shí)。
u?高強(qiáng)度UV燈源，波長(zhǎng)185nm和254nm。
u?可累計(jì)計(jì)時(shí)UV格柵燈使用時(shí)長(zhǎng)，更換提示。
u?UV反射罩（長(zhǎng)X寬）比UV格柵燈大25mm。
u?雙重安全保護(hù)，帶有安全鎖，當(dāng)清洗腔打開時(shí)，系統(tǒng)自動(dòng)關(guān)掉UV燈，并有燈光通斷提示。
u?帶進(jìn)&出氣口雙氣路設(shè)計(jì)。
u?可接入氧氣或者臭氧，增加臭氧產(chǎn)量。
u?UVO5可選外置臭氧中和器，UVO9、UVO13系列可選外置或者內(nèi)置臭氧中和器，用于臭氧清除。
u?可根據(jù)客戶要求定制鋁或石英材料真空反應(yīng)腔。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào)
UVO5/UVO5P/UVO5T
UVO9/UVO9P/UVO9T
UVO13/UVO13P/UVO13T
UV燈尺寸
130x130mm
230x230mm
330x330mm
樣品臺(tái)高度
0-50mm可調(diào)
0-50mm可調(diào)
0-50mm可調(diào)
電 ??源
AC220V 50/60Hz 140/190/690W
AC220V 50/60Hz 140/190/690W
AC220V 50/60Hz ?140/190/1160W
外型尺寸
L260xW320xH200mm
L370xW470xH200mm
L465xW575xH200mm
包裝尺寸
L375xW470xH390mm
L490xW600xH320mm
L575xW680xH320mm
整機(jī)重量
8kg
15kg
18kg